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真空系统的基本要求有
日期:2014/9/19 18:21:17 阅读:

真空系统的基本要求有：
1．真空度
    真空系统应当使被抽容器中能达到工艺过程所要求的真空皮，并具有较高的极阳真空。
为此，真空系统应有较好的密封性能，放气源蟹少，故气和漏气串要小，真空系的抽速要足
以朗维持工作室内所得的真空度。
    在真空设备中，工作真空度的高妖将直接彤响真空工艺的质量，而它又紧密依赖于真空
系统的形式、真空泵的选择及抽气系统的设计。表5—1列出了常见的几种真空工艺过程对真
空度的要求。
2．抽气速率
真空系统应保证被抽容器内服维持必要的真空度而帝男的抽速，取决于被抽容器的体积
及沼气、放气和真空元件的通导能力等。因此，必箔选择合适的导管、阀门和连接方式。
    在真空系统中，导管、阀门、挡板等的流导是有限制的，它们的存在总要降低泵的有效
拙速。—般希望泵的有效抽速既达到20一60?f，以保证泵在较短时间内使工作空达到所锦真
空度。
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